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等離子清洗機 鄭州 科探

產(chǎn)品簡介

等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。

產(chǎn)品型號:KT-S2DQX
更新時間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1336
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工,電子

等離子體清洗的機理:

1、什么是等離子體

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下可以以第四種狀態(tài)存在,如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),又稱為物質(zhì)的第四態(tài)。

等離子體中存在下列物質(zhì):處于高速運動狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。


2、等離子體清洗的機理

由于等離子體中的電子、離子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易與固體表面發(fā)生反應(yīng)。等離子體清洗主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。

就反應(yīng)機理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。

等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX

小型等離子清洗機具有成本低廉、操作靈活的特點, 與動輒十幾萬美元的大型產(chǎn)品相比小型等離子清潔小型機具有以下優(yōu)點:

1、可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。

2、不會對人員的身體造成任何傷害。

3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

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等離子清洗機 鄭州 科探KT-S2DQX參數(shù)

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤100Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

觀察窗內(nèi)徑

Φ65

氣體流量

10—100ml/min(其他量程可選)

過程控制

過程手動控制

清洗時間

手動開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風(fēng)冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。


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